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ZYGO 激光干涉仪
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ZYGO 激光干涉仪

单位:台
型号:大口径激光干涉仪
产地:美国
品牌:ZYGO
包装说明:箱
产品简介: ZYGO 大口径激光干涉仪由4英寸激光干涉仪主机经过扩束为大口径系统,通常为双通道,即4英寸测量通道和大口径测量通道,具有多种高精度测量模式,如相位调制、波长调制、动态测量等。
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大口径激光干涉仪

ZYGO大口径激光干涉仪系统是双通道测量系统,小口径4"测量通道和大口径测量通道均具有多种高精度测量模式,如相位调制、波长调制、动态测量等。大口径激光干涉仪从常规的4英寸口径拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口径激光干涉仪包括

• 激光干涉仪主机(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波长调制主机)

• MUX分光器(光束转换器)

• 扩束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可选)

• 机械相位测量装置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波长调制测量技术

• 参考光束-透射平板和参考平板是光学系统必需的附件

• 调整架-用于调整参考光束和测试光束的位置

大口径激光干涉仪系统组件可以与干涉仪主机分开购买,如果您需要系统测量和配置方面的具体信息请联系我们

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