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ZYGO 超高分辨率成像,精密中频特征计量

日期:2019年07月12日  点击数:载入中...

YGO新型Verifire HDX干涉仪是为超高精度的光学元件和系统设计和制造的,可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有Verifire HD的功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器,并增加了重要的增强功能,如刷新行业水平的分辨率和成像能力,仪器传递函数(ITF)、出众的中频特征分析和大坡度表面测试,同时也兼具了ZYGO DynaPhase®系列动态采集技术,可以消除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中精确计量。



特殊设计优化的分辨率和性能

Verifire HDX系统具有全新的光学设计,经过严格设计,可为其所配的3.4kx 3.4k(1160万像素)传感器提供突破像素限制的性能,呈现增强的图像,可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价,该系统在全分辨率下以帧率96 Hz运行,比其它高分辨率干涉仪速度快10倍,那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试能力受限。

功率谱密度(PSD)和衍射分析工具完善了Verifire HDX系统的中频特征分析能力,并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。


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